Ефективното засичане на дефекти е критично за осигуряване на надеждността на процеса. Следващият подход включва визуална инспекция на областта, последвана от прилагане на специализирани инструменти за установяване на едва забележими пукнатини . Важно е да се отбележат всички открити дефекти за бъ